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請(qǐng)問有人知道怎么研究壓力傳感器的誤差產(chǎn)生機(jī)理

: 問提問者：網(wǎng)友 | 2018-07-16

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壓力傳感器是將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的裝置，它一般由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件。敏感元件感知壓力信號(hào)，轉(zhuǎn)換元件將敏感元件感知的信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。從原理可以分為應(yīng)變式、壓阻式、電容式、諧振式、光纖式等等；以電容式壓力傳感器為例，眾所周知平行板電容器在其介質(zhì)均勻、平行板的面積一定情況下，電容量反比于兩個(gè)極板的間距。當(dāng)感受壓力時(shí)兩個(gè)極板間距離會(huì)發(fā)生變化，從而引起電容量的變化，該變化被檢測電路所檢測。在設(shè)計(jì)傳感器時(shí)，設(shè)計(jì)師盡量在所測量的壓力范圍內(nèi)，使電容式傳感器極板間距離的變化與所感受到的壓力的變化呈線性關(guān)系、使電容式傳感器的電容變化與極板間距離的變化呈線性關(guān)系，這樣所測量的壓力的變化引起電容的變化也可看作是線性的。但實(shí)際上傳感器極板間距離的變化與所感受到的壓力的變化不是呈嚴(yán)格的線性關(guān)系、電容式傳感器的電容變化與極板間距離的變化也不是呈嚴(yán)格的線性關(guān)系。這樣就產(chǎn)生了傳感器的非線性誤差；壓力傳感器的第二個(gè)誤差是重復(fù)性誤差，它的來源是雖然壓力變化量完全相同，但傳感器第一次發(fā)生的極板間距離的變化與第二次或第n次發(fā)生的極板間距離的變化并不一定完全相同，因此產(chǎn)生的電信號(hào)也就不完全相同，這是重復(fù)性誤差。第三個(gè)誤差是遲滯誤差，也就是壓力從a變化到b時(shí)，傳感器輸出從A變化到B；但當(dāng)壓力從b返回到a時(shí)，傳感器輸出不一定從B完全返回到A，這就是遲滯。第四個(gè)誤差是溫度誤差，也就是在溫度T1℃時(shí)，壓力從a變化到b引起傳感器輸出從A變化到B；但當(dāng)在溫度T2℃壓力從a變化到b引起傳感器輸出不一定是從A變化到B；這是溫度誤差。當(dāng)然精度要求高的時(shí)候還要研究磁場所引起的誤差、緯度、高度等所引起的誤差?？傊疁y量和誤差是一對(duì)矛盾，有測量就有誤差；不斷的研究誤差產(chǎn)生的機(jī)理，盡力減小誤差，才能不斷的提高傳感器的精度。: 回答者：網(wǎng)友

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